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无尘车间介绍

时间:2018-08-30 16:12   作者:弘泽科技 点击:


讲了那么久空气过滤器都有点腻了,那么今天来给大家讲讲前面主要讲的“高效过滤器(HEPA)”主要应用的“无尘车间”。

无尘车间的主要作用为控制产品(如硅芯片等)所接触的大气的洁净度以及温湿度,使产品能在一个环境良好的空间中制造、生产,这种空间称之为无尘车间。

无尘车间

按照国际惯例根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定无尘净化级别,那么也就是说所谓的无尘并不是说一点灰尘都没有,而是把空气中的粒子控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中的颗粒不是我们常见灰尘,已经是相对于前者小的微乎其微颗粒。

但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生相当大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘车间级别会要求的非常高。  

控制每立方米粒径小于0.3微米的微尘数量在3500个以内的无尘空间,就达到了国际无尘标准的A级。而应用在芯片级生产加工的无尘车间的无尘标准要高于A级。

无尘车间将5μm及以下的微尘数量严格控制在每立方米1000个以内就是业内俗称的1K级别,一些等级较高芯片生产主要应用这样的高标车间。

 

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